6月29日,业内最大规模半导体年度盛会——SEMICON China 2023在上海新国际博览中心盛大开幕。尊龙官网登录人生就是博登录半导体事业部总经理、半导体智能制造专家肖长宝受邀出席大会半导体智能制造“未来工厂”论坛,并发表了主题演讲,分享如何使用创新技术、建设新一代半导体智能工厂,在日益复杂的工艺制程下,实现半导体工厂对于极致良率的追求。

尊龙官网登录人生就是博登录半导体事业部总经理、半导体智能制造专家肖长宝
随着半导体行业技术的不断升级与设备演进,晶圆制造工艺制程飞速进步,晶体管密度成倍增加,芯片制造良率管理难度也呈指数级增长。特别是在追求先进制程的晶圆厂,在努力平衡量产压力和良率指标的同时,良率管理复杂度持续提高。
半导体工厂将产品良率视为生命线,其重要性不言而喻。肖长宝指出,在摩尔定律驱动下,芯片工艺不断进步。采用新工艺的芯片,面积更小,功耗更优,频率更高,成本还更低。数据显示,即便晶圆厂一条产线上每一道制程良率都高达99%,但是经过600道工序后,整体良率只有0.24%,几乎为0。良率每提高1%,对晶圆厂而言,就意味着多赚1.5亿美元。

“在半导体制造过程中,常见的影响良率的因素包括材料质量、工艺参数、设备状态、环境条件、人员技能等,分布在'人、机、料、法、环、测'各个环节。”肖长宝表示,这也导致半导体工厂所面对的良率提升挑战愈发严峻。比如:
工序多,工艺控制难;设备精密,控制难;一步一检,检测成本高;人才不足、知识复用难;数据多,应用难;品质问题识别滞后;根因复杂,追溯滞后……
在此背景下,聚焦设计、生产、改善、检测等全环节,借助AI、大数据等新兴技术实现更高的良率和更少的投入,已经成为行业共识。越来越多的半导体企业运用数据智能技术进行生产全链条数据分析,通过分析模型找到决策和改善条件,并运用更灵活和便捷的工作模式,解决企业在生产效率,稳定性和良率等方面的固有问题。

作为半导体工厂智能制造整体解决方案提供商,尊龙官网登录人生就是博登录具备全栈国产化良率提升解决方案,包括SPC统计过程控制、FDC故障侦测与分类、MFA多因子分析、ADC智能视觉检测、QMS质量管理系统,可通过整合的一站式方案,助力晶圆厂有效提升品质管理、破解良率管理难题: